МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

 МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, Том 32, номер 4, 2003
~
LA rus
TR Памяти Петра Ашотовича Арутюнова
PP 243
$$
        Тонкие пленки: физика и технология
LA rus
TR Процессы релаксации тонких слоев борофосфоросиликатных стекол
   при термически активированном вязком течении на ступенчатом
   рельефе интегральных микросхем. Часть 2. Обобщенные параметры
   для характеристики процессов оплавления в ультрабольших
   интегральных микросхемах
AU В.Ю.Васильев
PP 244
$$
LA rus
TR Влияние сульфата алюминия на термооксидирование арсенида галлия
   и фосфида индия
AU С.С.Лаврушина, И.Я.Миттова, О.В.Артамонова, Г.О.Владимиров
PP 256
$$
LA rus
TR Феноменологическое описание пьезорезистивного эффекта в пленках
   поликристаллического кремния
AU В.А.Гридчин, В.М.Любимский
PP 261
$$
        Мониторинг технологических процессов
LA rus
TR Возможности синхронного детектирования эмиссионного сигнала
   плазмы при мониторинге травления.структур Si
AU К.В.Руденко, Я.Н.Суханов, Н.И.Базаев
PP 271
$$
        Диагностика микроэлектронных структур
LA rus
TR Рентгеноструктурные исследования гетероструктур с квантовыми
   ямами
AU А.М.Афанасьев, Р.М.Имамов, Э.М.Пашаев, С.А.Тихомиров, М.А.Чуев,
   С.Н.Якунин
PP 277
$$
        Наноструктуры
LA rus
TR Моделирование характеристик полевого баллистического
   нанотранзистора в тонком кремнии на изоляторе
AU В.В.Вьюрков, А.А.Орликовский, А.А.Сидоров
PP 283
$$
        Схемотехника
LA rus
TR Нелинейность прямоугольных диафрагм
AU В.А.Гридчин, В.М.Любимский, А.В.Шапорин
PP 294
$$
LA rus
TR Построение тестов для КМОП-схем на переключательном уровне
AU А.Е.Люлькин
PP 305
$$
        Материалы
LA rus
TR Бессвинцовистые припои в технологии производства изделий
   микроэлектроники
AU В.В.Зенин, В.Н.Беляев, Ю.Е.Сегал, А.А.Колбенков
PP 310
$$